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行業(yè)產(chǎn)品

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南京木木西里科技有限公司


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Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地南京市

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更新時間：2024-03-05 07:28:30瀏覽次數(shù)：100次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：15條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

特點FEATURES簡潔的桌上型

詳細(xì)介紹

特點FEATURES

  • 簡潔的桌上型，移動推車或控制臺架結(jié)構(gòu)
  • Direct re-entrant流孔板，差式泵，以達(dá)到宜的靈敏度
  • 連續(xù)取樣從10-4mbar至1mbar.
  • 高靈敏度（可至5ppb），質(zhì)量數(shù)可選至1000amu
  • 軟離子化技術(shù)，分析復(fù)雜有機物，或表觀MS研究
  • 穩(wěn)定性好(24h之上，峰高變化小于±0.5%)
  • MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個系統(tǒng)控制
  • 氣動閥自動控制；出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置
  • 自動、同時數(shù)據(jù)取得、分析，實時顯示、報警

應(yīng)用APPLICATIONS

  • CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
  • 真空涂覆/ 等離子刻蝕
  • 沉積濺射
  • 污染物研究
  • 基本壓力辨別
  • 泄漏探測/ 實質(zhì)泄漏/脫附分析
  • 除氣/烘烤/泵效能
  • 反應(yīng)室/過程氣體污染物

規(guī)格參數(shù)SPECIFICATION

HPR-30真空過程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser)，適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。

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