FGL系列雙溫區(qū)-管式梯度爐(T max 1700℃和T max 1400℃)

FGL系列雙溫區(qū)-管式梯度爐專門設(shè)計(jì)用于有溫度梯度要求的CVD工藝。兩個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制，溫區(qū)可單獨(dú)使用。在同一腔體內(nèi)實(shí)現(xiàn)不同的溫度差，是CVD工藝的專用理想設(shè)備。

特點(diǎn)

u 程序控溫儀控制精準(zhǔn)、可編輯、儲(chǔ)存并調(diào)用多段程序

u 爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)

u 采用不銹鋼雙層密封法蘭，進(jìn)、出氣配美標(biāo)針閥

u 兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長(zhǎng)剛玉管使用壽命

u 超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值自動(dòng)斷電

u 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電

u LED高強(qiáng)度抗破壞全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用

拓展選件:

u爐內(nèi)測(cè)量系統(tǒng)：（氧含量檢測(cè)系統(tǒng)、溫度檢測(cè)系統(tǒng)）

u真空系統(tǒng)：（旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組）

u氣氛系統(tǒng)：（浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)）

u監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）

技術(shù)參數(shù)：

注：給出的溫度為工作管外測(cè)定，其它溫區(qū)個(gè)數(shù)和加熱區(qū)長(zhǎng)度可根據(jù)客戶工藝要求定制。

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