氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）/氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Metre）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，特別是對于微小質(zhì)量流量的測量和控制。D600系列數(shù)字型氣體質(zhì)量流量計/控制器精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、工作壓力范圍寬，廣泛應(yīng)用于能源、電力、化工、醫(yī)療、半導(dǎo)體等各個領(lǐng)域。

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller)/氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Metre)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，特別是對于微小質(zhì)量流量的測量和控制。D600系列數(shù)字型氣體質(zhì)量流量計/控制器精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、工作壓力范圍寬，廣泛應(yīng)用于能源、電力、化工、醫(yī)療、半導(dǎo)體等各個領(lǐng)域。

【氣體流量計產(chǎn)品特點】
◆ 本地高清晰中文液晶顯示；
◆ 適用極低的流量，精確測量各種量程的流量，zui低量程0~5 SCCM( 標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘）；
◆ 數(shù)字、模擬量輸入輸出；
◆ 可連接上位機軟件控制運行；
◆ 極低的零漂和溫漂；
◆ 多氣體、多量程、高精度，響應(yīng)時間短；
◆ 多種可量程可供選擇：
     流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
      （0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM

【注】

SLM和SCCM都常常是氣體質(zhì)量流量單位。
SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。
SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升。

【氣體質(zhì)量流量計參數(shù)】

產(chǎn)品名稱	氣體質(zhì)量流量控制器,氣體質(zhì)量流量計
適用介質(zhì)	潔凈、干燥的氣體（不能含水汽、油）
量程范圍（N2)	(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM； （0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM
公稱壓力	0～10MPa
環(huán)境溫度	5～65℃
測量精度	±1.0%
響應(yīng)時間	< 1秒
殼體材質(zhì)	不銹鋼；
供電方式	外供7～16VDC（帶電源適配器）；
輸出信號	4～20mA；0～5V；RS232/RS485
差壓范圍	0.05～0.3MPa；
表頭顯示	累積流量；瞬時流量；工作模式；閥控狀態(tài)
連接方式	卡套連接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10

 

【氣體質(zhì)量流量計原理】

氣體質(zhì)量流量計由質(zhì)量流量計傳感器、分流器通道、流量控制調(diào)節(jié)閥、放大控制電路組成。被測氣體分成兩個層流區(qū)，一個通過主流量管道，另一個通過毛細(xì)管。*的設(shè)計確保兩個管路里的流體都是層流狀態(tài)，因此兩個管路的流量比是恒定的。工作時，毛細(xì)管上兩個精確的溫度感應(yīng)繞組被加熱，當(dāng)有流量時，被加熱的氣體從上游到下游流動，在兩個感應(yīng)繞組之間產(chǎn)生了溫差，溫差與電阻的變化成比例關(guān)系。

用惠斯頓電橋來測量溫度感應(yīng)繞組的溫度變化差值?；菟诡D電橋的輸出通過ADC(模數(shù)轉(zhuǎn)換)轉(zhuǎn)換成12位的數(shù)字信號。

微處理器和非易失性存儲器存儲了所有的標(biāo)定數(shù)據(jù)，直接控制操作比例電磁閥。這個數(shù)字閉環(huán)控制系統(tǒng)不斷的比較當(dāng)前的流量值與設(shè)定值，如果與設(shè)定值偏離，通過調(diào)整閥門進行修正，PID算法運算實現(xiàn)高精確度的控制。根據(jù)被測氣體的流量大小輸出0…5VDC或者4…20mA信號。

 

【生產(chǎn)能力】年產(chǎn)一萬套
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【廠家】０２９－８４２１１２１１，１３７５９８７８１８７

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