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行業(yè)產(chǎn)品

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上海爾迪儀器科技有限公司


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KASHIYAMA SDE系列真空泵

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間：2023-01-14 13:46:57瀏覽次數(shù)：84次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：57條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

詳細介紹

Large CapacitySDE Series

Standard type for harsh process

01
FEATURE

Available up to
200kL/min.
?

02
FEATURE

Best for
large wafer and FPD.

03
FEATURE

Durable to
various processes.

SDE Series

Major Products

Spec. / Products *1SDE1220SDE20M20SDE30M20SDE4060SDE4030M20SDE8060SDE804060
Max. pumping speed
[L/min] *2		20,00030,00050,00060,00080,000120,000190,000
Ultimate pressure
[Pa] *2		0.50.80.50.80.5
Supply voltage
(50/60Hz)		3Phase AC200～220V,?380～480V
Dimensions [mm]
W*H*L *3		W:400
H:780
L:930		W:450
H:950
L:1000		W:450
H:950
L:1000		W:750
H:1200
L:1600		W:800
H:1580
L:1320		W:850
H:1220
L:1600		W:1000
H:1980
L:1850

*1) Smaller than 20,000L/min pumps are also available.  *2) Without N2 purge.
*3) Package size. Dimensions vary by specification.
* Contact us about international standard compliance. Spec. & name of products are subject to change without prior notice.

S-P Curve

*S-P curves vary by combination.


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