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捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。 此外還具備利用GE...

詳細(xì)介紹

捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。
此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。
捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)如下：
1.半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場，因而可以獲得超高分辨率。
2.High Power Optics 是的電子光學(xué)系統(tǒng)，既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。

二次電子像分辨率 0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ）
分析時(shí) 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA )
倍率 Direct magnification:  x25 to 1,000,000（120 x 90 mm）
Display magnification:  x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）
加速電壓 0.1 ～ 30 kV
探針電流 數(shù) pA ～ 200 nA
電子槍 浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍
透鏡系統(tǒng) 聚光鏡（CL）、  光闌角控制鏡（ACL）、  半浸沒式物鏡（OL）
樣品臺 全對中測角樣品臺、5軸馬達(dá)驅(qū)動
電子檢測器系列 高位檢測器、　r‐過濾器　內(nèi)置、  低位檢測器
自動功能 自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調(diào)節(jié)
圖像觀察用
液晶顯示器		 屏幕尺寸 23英寸寬屏
 分辨率　1,920 × 1,080像素
抽真空系統(tǒng) 電子槍室／中間室　SIP 離子泵
樣品室　TMP 分子泵


 

 


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