捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡新一代FE-SEM旗艦機型。它繼承了上一代廣獲好評的如的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時，操作性能極大地簡單化。該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其性能。捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃...

詳細(xì)介紹

捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡新一代FE-SEM旗艦機型。它繼承了上一代廣獲好評的如的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時，操作性能極大地簡單化。該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其性能。

捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點：

新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine（New Electron Optical Engine），是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動化技術(shù)，即使改變電子光學(xué)條件，光軸的偏離也極小，大大提高了可操作性及觀察精度。無論是誰都可以很簡便地發(fā)揮出儀器原本的功能。GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。新開發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺施加高達5 kV的偏壓。因此，使用GBSH模式不需要使用專用的樣品桿就可以無縫過渡到其他模式。

分辨率	1.1 nm (0.5 kV)^1、1.0 nm^2 0.7 nm (1 kV)^1、0.7 nm^2 0.7 nm (15 kV)^1、0.6 nm^2 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)^1 1: Gap method、*2:Edge method
倍率	×25 ～ ×1,000,000
加速電壓	0.01 ～ 30 kV
探針電流	數(shù) pA ～ 500 nA
檢測器（標(biāo)配）	高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED)
電子槍	浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍
光闌角控制鏡	內(nèi)置
物鏡	超級混合式物鏡/SHL
自動功能	自動聚焦、自動消像散、自動調(diào)節(jié)亮度、自動調(diào)節(jié)襯度
大景深模式(LDF)	內(nèi)置
樣品臺	全對中測角樣品臺
樣品移動	X:70mm Y:50mm Z:2 ～ 41mm 傾斜軸:-5 ～ 70° 旋轉(zhuǎn):360°
馬達驅(qū)動	5軸馬達驅(qū)動
樣品交換室	直徑: 100mm 　高度: 40mm
抽真空系統(tǒng)	SIP、TMP、RP

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