半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)Chiller

應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過(guò)程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)Chiller

密閉循環(huán)系統(tǒng)

整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。

安全防護(hù)

具有自我診斷功能：相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)，高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。不用更換導(dǎo)熱介質(zhì)，而且不需要加壓的情況下就可以實(shí)現(xiàn)-60℃~200℃連續(xù)控溫。

半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)Chiller

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機(jī)械拋光)，實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時(shí)）±0.05℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動(dòng)小

占地面積小、保護(hù)裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營(yíng)成本和保障生產(chǎn)

運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫