一種型號(hào)供所有應(yīng)用工藝使用ATP系列提供抽速?gòu)?0到900l/s的真空泵以及低極限壓力值

    
     一種型號(hào)供所有應(yīng)用工藝使用

     ATP 系列提供抽速?gòu)?0到900l/s的真空泵以及低極限壓力值。三種型號(hào)：
                 標(biāo)準(zhǔn)型
                 適于腐蝕性應(yīng)用工藝的C型
                 適用于高壓強(qiáng)高腐蝕性應(yīng)用工藝的HPC型

       逆向動(dòng)態(tài)密封
      C型與HPC 型都加入了了逆向動(dòng)態(tài)密封。這一特點(diǎn)提高了氣體吹掃在腐蝕工藝中的性能。同時(shí)，HPC型可加熱至65°C，以防冷凝。

       ACT 控制器：多種遠(yuǎn)程控制接口    
       ACT 控制器能更好的控制與監(jiān)控ATP泵。由于其有許多控制接口可供選擇，ACT控制器更易整合。

       特點(diǎn)：
                內(nèi)部流導(dǎo)大
                低轉(zhuǎn)速
                內(nèi)部間隙大
       優(yōu)點(diǎn)：
                避免使用旁通管道
                遇到各種突發(fā)情況時(shí)抵抗力強(qiáng)（空氣流入、振蕩等）
                固體粉塵敏感度低（沉積、污染）
        應(yīng)用：
                高真空
                空間模擬
                沉積
                粒子加速器
                通用物理實(shí)驗(yàn)
                離子束
                表面分析器
                進(jìn)出口室抽氣
                電子顯微鏡
                反應(yīng)粒子離合
                物理氣象沉淀
                離子注入